教師資料查詢 | 類別: 會議論文 | 教師: 蔡子萱 TZU-HSUAN TSAI (瀏覽個人網頁)

標題:Electrochemical Planarization of Copper-Plated Wafer in Phosphoric Acid
學年95
學期2
發表日期2007/05/11
作品名稱Electrochemical Planarization of Copper-Plated Wafer in Phosphoric Acid
作品名稱(其他語言)
著者Tsai, Tzu-hsuan; Wu, Y. F.
作品所屬單位淡江大學化學工程與材料工程學系
出版者The Electrochemical Society
會議名稱
會議地點
摘要
關鍵字
語言
收錄於
會議性質
校內研討會地點
研討會時間
通訊作者
國別
公開徵稿
出版型式
出處The Electrochemical Society 211th Meeting, Chicago, Illinois, USA.
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