教師資料查詢 | 類別: 期刊論文 | 教師: 趙崇禮 CHAO CHOUNG-LII (瀏覽個人網頁)

標題:Relieving the Residual Stress on Machined Silicon Wafers- A Comparison Between Rapid Thermal Annealing (RTA) and Chemical Etching Processes
學年89
學期1
出版(發表)日期2000/11/01
作品名稱Relieving the Residual Stress on Machined Silicon Wafers- A Comparison Between Rapid Thermal Annealing (RTA) and Chemical Etching Processes
作品名稱(其他語言)
著者Chao, C.L.; Ma, K.J.; Chang, Y.; Lin, H.Y
單位淡江大學機械與機電工程學系
出版者
著錄名稱、卷期、頁數J. of C.C.I.T29(1), pp.63-68
摘要
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語言英文
ISSN
期刊性質
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產學合作
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