教師資料查詢 | 類別: 研發處: 研究計畫 (科技部) | 教師: 蔡子萱 TZU-HSUAN TSAI (瀏覽個人網頁)

標題:以脈衝式電化學拋光技術進行銅鑲崁結構平坦化與其機制研究
學年96
學期1
計畫案開始日期2007/08/01
計畫案結束日期2008/07/31
計畫主持人姓名蔡子萱
共同主持人姓名一
共同主持人姓名二
共同主持人姓名三
計畫中文名稱以脈衝式電化學拋光技術進行銅鑲崁結構平坦化與其機制研究
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