An easy method to control the membrane thickness of a pressure sensor by using the (111)-faced V grooves on (110) silicon wafers
學年 85
學期 2
發表日期 1997-05-13
作品名稱 An easy method to control the membrane thickness of a pressure sensor by using the (111)-faced V grooves on (110) silicon wafers
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著者 楊龍杰; Yang, Lung-jieh; Chang, P. Z.
作品所屬單位 淡江大學機械與機電工程學系
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出處 Proceedings of SENSOR 97, A7.31, Nuremberg, Germany, pp.165-170
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