教師資料查詢 | 類別: 期刊論文 | 教師: 林諭男 I-nan Lin (瀏覽個人網頁)

標題:Preparation of highly textured AlN films using Mo and Ti electrode for integrated AlN-based film bulk acoustic wave resonators
學年94
學期1
出版(發表)日期2006/01/01
作品名稱Preparation of highly textured AlN films using Mo and Ti electrode for integrated AlN-based film bulk acoustic wave resonators
作品名稱(其他語言)
著者周正賢; Chou, Cheng-hsien; Lin, Yung-chen; Huang, Jin-hua; Tai, Nyan-hwa; 林諭男; Lin, I-nan
單位淡江大學物理學系
出版者Taylor & Francis
著錄名稱、卷期、頁數Integrated Ferroelectrics 80, pp.407-413
摘要
關鍵字
語言英文
ISSN1058-4587
期刊性質國外
收錄於
產學合作
通訊作者
審稿制度
國別美國
公開徵稿
出版型式,電子版
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