會議論文
學年 | 97 |
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學期 | 1 |
發表日期 | 2008-09-08 |
作品名稱 | Subnanometer displacement measurement using common-path grating interferometry |
作品名稱(其他語言) | |
著者 | C.C. Wu; C.C. Hsu; C.J. Chen |
作品所屬單位 | |
出版者 | |
會議名稱 | International Conference of Precision Measurement |
會議地點 | Amsterdam |
摘要 | |
關鍵字 | heterodyne interferometry;grating interferometer;common-path;lock-in amplifier |
語言 | en |
收錄於 | |
會議性質 | 國際 |
校內研討會地點 | 無 |
研討會時間 | 20080908~20080912 |
通訊作者 | |
國別 | NLD |
公開徵稿 | |
出版型式 | |
出處 | Proceedings of ICPM 2008 |
相關連結 |
機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/116281 ) |