關鍵字查詢 | 類別:會議論文 | | 關鍵字:Subnanometer displacement measurement using common-path grating interferometry

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1 97/1 機械系 吳乾埼 副教授 會議論文 發佈 Subnanometer displacement measurement using common-path grating interferometry , [97-1] :Subnanometer displacement measurement using common-path grating interferometry會議論文Subnanometer displacement measurement using common-path grating interferometryC.C. Wu; C.C. Hsu; C.J. Chenheterodyne interferometry;grating interferometer;common-path;lock-in amplifierProceedings of ICPM 2008en國際無20080908~20080912是NLDInternational Conference of Precision MeasurementAmsterdam
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