研發處: 研究計畫 (國科會)

學年 112
學期 2
計畫案開始日期 2024-07-01
計畫案結束日期 2025-06-30
計畫主持人姓名 陳志欣
共同主持人姓名一 李揚漢
共同主持人姓名二
共同主持人姓名三
計畫中文名稱 半導體製程氣態分子污染物之即時監測系統