期刊論文
| 學年 | 84 |
|---|---|
| 學期 | 2 |
| 出版（發表）日期 | 1996-04-01 |
| 作品名稱 | 固態加速度計簡介 |
| 作品名稱（其他語言） | |
| 著者 | 張培仁; 呂學士; 劉深淵; 楊龍杰 |
| 單位 | 淡江大學機械與機電工程學系 |
| 出版者 | 機械月刊雜誌社 |
| 著錄名稱、卷期、頁數 | 電子月刊2(4)=9，頁59-62 |
| 摘要 | 所謂「固態加速度計」，舉凡以非傳統機械加工技術製作，尺寸在數毫米之內，而運作機制已超越機械專業範疇者皆是。因其尺寸遠小於傳統加速度計，或稱之「微型加速度計」。另因以矽晶圓製作該微型加速度計為時下大宗主流，故又稱「半導體加速度計」。在微機電系統之數種主要感測器中，固態加速度計以其與機械、力學之深厚淵源，成為許多機械專長背景人士加入微機電領域之頭一項研究課題。有鑑於固態感測器之微細加工技術大同小異，本文將偏重於介紹加速度計之運作原理與設計要旨，兼述國內在此方面可能之發展利機。 |
| 關鍵字 | |
| 語言 | zh_TW |
| ISSN | 1814-912X |
| 期刊性質 | |
| 收錄於 | |
| 產學合作 | |
| 通訊作者 | |
| 審稿制度 | |
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| 公開徵稿 | |
| 出版型式 | |
| 相關連結 |
機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/45699 ) |