期刊論文
| 學年 | 85 |
|---|---|
| 學期 | 2 |
| 出版（發表）日期 | 1997-07-01 |
| 作品名稱 | 半導體微型感測器與非破壞性檢測 |
| 作品名稱（其他語言） | |
| 著者 | 楊龍杰; 張培仁 |
| 單位 | 淡江大學機械與機電工程學系 |
| 出版者 | 機械月刊雜誌社 |
| 著錄名稱、卷期、頁數 | 電子月刊3(7)=24，頁145-151 |
| 摘要 | 小而美的微機電系統(Micro-Electro-Mechanical Systems)技術，近年來已廣受注目。其技術略分為感測器(sensor)與制動器(actuator)二大部分，而感測器之發展又早於制動器。事實上，在1980年代後期提出微機電系統、或微系統技術(Micro-System Technology) 等名稱之前，許多半導體感測器與微細加工之先期研究，均集中列入微電子的範疇; 此可由其文獻之出處面見一斑。本文即基於尋求跨技術互動與應用之動機，以半導體微型加速度計之製作為肇始，發現其可應用於非破壞性檢測之暫態彈性波法，使檢測之結果更為直接與準確。最後並回過頭來以非破壞性檢測之超音波法，監控矽質薄膜之厚度，提供體型微細加工另一種增益精度的途徑。 |
| 關鍵字 | |
| 語言 | zh_TW |
| ISSN | 1814-912X |
| 期刊性質 | |
| 收錄於 | |
| 產學合作 | |
| 通訊作者 | |
| 審稿制度 | |
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| 公開徵稿 | |
| 出版型式 | |
| 相關連結 |
機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/45698 ) |