會議論文
| 學年 | 95 |
|---|---|
| 學期 | 1 |
| 發表日期 | 2006-11-24 |
| 作品名稱 | 以MPECVD法製作三種不同大小尺寸的鑽石薄膜特性研究 |
| 作品名稱（其他語言） | |
| 著者 | 陳皇欽; 林諭男; 鄭秀鳳 |
| 作品所屬單位 | 淡江大學物理學系 |
| 出版者 | 臺南市：成功大學 |
| 會議名稱 | 2006年中國材料科學學會年會 |
| 會議地點 | 臺南市, 臺灣 |
| 摘要 | 本實驗利用微波電漿輔助化學氣相沈積法(MPECVD)成長3種不同尺寸(Grain size)的鑽石薄膜，並利用SEM來探討表面顆粒大小的差異，以Raman光譜來探討鑽石薄膜顆粒結晶大小的差異性，以解釋薄膜場發射特性的不同；分別製作約500-600nm、100-200nm和約30nm的鑽石薄膜，發現大小約500-600nm的鑽石薄膜顆粒結晶程度最好，但是以場發射的特性可以發現約30nm大小的鑽石薄膜有較好的電流密度，其次為100-200nm大小的鑽石薄膜，而擁有最好結晶性的500-600nm的鑽石薄膜卻是這三種薄膜裡場發射的電流密度最差的。 |
| 關鍵字 | |
| 語言 | zh_TW |
| 收錄於 | |
| 會議性質 | 國內 |
| 校內研討會地點 | |
| 研討會時間 | 20061124~20061125 |
| 通訊作者 | |
| 國別 | TWN |
| 公開徵稿 | Y |
| 出版型式 | 紙本 |
| 出處 | 2006年中國材料科學學會年會論文集，4頁 |
| 相關連結 |
機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/98248 ) |