會議論文

標題 電腦輔助分析應用於微型壓力感測器之性能評估
學年 89
學期 1
發表日期 2000/12/09
作品名稱 電腦輔助分析應用於微型壓力感測器之性能評估
作品名稱(其他語言) The Application for Estimated of Micro Pressure Sensor in CAE
著者 鄭金郎; Cheng, Chin-Lang; 楊龍杰; Yang, Lung-Jieh; 康尚文; Kang, Shung-Wen
作品所屬單位 淡江大學機械與機電工程學系
出版者
會議名稱 八十九年度中華民國力學學會年會暨第二十四屆全國力學會議=24th National Conference on Applied and Theoretical Mechanics
會議地點 桃園縣, 臺灣
摘要 本文利用有限元素分析軟體ANSYS來分析一新式微型壓力感測器之壓力薄膜受力情形。依據其薄膜表面佈植之壓電阻受力形變及應力數值,直接推導出壓力感測器之理論輸出電壓靈敏度及非線性度。其結果可作為感測器製作前之性能評估。;In this paper, we use the FEM software to analyze the surface'sdeformation of the silicon membrane in the new micro pressure sensor.According the deformation and stress of piezoresistor's on themembrane, we can derive the ideal sensitivity and non-line arty ofpressure sensor. The result can be estimated to process of sensor.
關鍵字 壓力感測器;微機電系統;電腦輔助工程;Pressure Sensor;Microelectromechanical System;Computer Aided Engineering
語言 中文
收錄於
會議性質 國內
校內研討會地點
研討會時間 20001209~20001210
通訊作者
國別 中華民國
公開徵稿
出版型式 電子
出處 八十九年度中華民國力學學會年會暨第二十四屆全國力學會議論文集=24th National Conference on Applied and Theoretical Mechanics, 頁N.A.(CD)