會議論文
| 學年 | 93 |
|---|---|
| 學期 | 2 |
| 發表日期 | 2005-05-26 |
| 作品名稱 | Surface Integrity of Precision Ground Silicon Wafer |
| 作品名稱（其他語言） | |
| 著者 | 趙崇禮 |
| 作品所屬單位 | 淡江大學機械與機電工程學系 |
| 出版者 | 工研院 |
| 會議名稱 | |
| 會議地點 | |
| 摘要 | |
| 關鍵字 | |
| 語言 | |
| 收錄於 | |
| 會議性質 | 國內 |
| 校內研討會地點 | |
| 研討會時間 | 20050526~20050526 |
| 通訊作者 | |
| 國別 | |
| 公開徵稿 | |
| 出版型式 | |
| 出處 | Taiwan-Japan Joint Symposium on nano-Precision Manufacturing |
| 相關連結 |
機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/70882 ) |