研發處: 研究計畫 (非國科會)

學年 100
學期 1
計畫案開始日期 2011-10-01
計畫案結束日期 2012-09-30
委託（補助）機構名稱 碩傑企業股份有限公司
計畫主持人姓名 林諭男
共同主持人姓名一
共同主持人姓名二
共同主持人姓名三
計畫中文名稱 以微波大氣電漿輔助化學氣相沉積法沉積氧化矽薄膜