專書單篇
| 學年 | 91 |
|---|---|
| 學期 | 2 |
| 出版（發表）日期 | 2003-07-01 |
| 作品名稱 | 微結構 |
| 作品名稱（其他語言） | |
| 著者 | 康尚文; 楊鍚杭; 林哲平 |
| 單位 | 淡江大學機械與機電工程學系 |
| 出版者 | 新竹市：行政院國家科學委員會精密儀器發展中心 |
| 著錄名稱、卷期、頁數 | 微機電系統技術與應用 = Micro electro mechanical systems technology & application，頁417-466 |
| 摘要 | |
| 關鍵字 | |
| 語言 | zh_TW |
| ISBN | 9570142650 |
| 相關連結 |
機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/76579 ) |