期刊論文

標題 Surface morphology and recrystallization behavior of amorphous Si after ArF laser irradiation
學年 93
學期 2
出版(發表)日期 2005/04/01
作品名稱 Surface morphology and recrystallization behavior of amorphous Si after ArF laser irradiation
作品名稱(其他語言)
著者 Chao, C.L.; Chen, T.T.; Chang, C.Y.
單位 淡江大學機械與機電工程學系
出版者
著錄名稱、卷期、頁數 SPIE 5713
摘要
關鍵字
語言 英文
ISSN
期刊性質 國外
收錄於
產學合作
通訊作者
審稿制度
國別 美國
公開徵稿
出版型式 ,電子版