研發處: 研究計畫 (科技部)

標題 精密輪磨加工矽晶圓表面性狀研究:(樹脂砂輪)鑽石輪磨與電解線上削銳輪磨之比較分析
學年 90
學期 1
計畫案開始日期 2001/08/01
計畫案結束日期 2002/07/31
計畫主持人姓名 趙崇禮
共同主持人姓名一 簡錫新
共同主持人姓名二 馬廣仁
共同主持人姓名三
計畫中文名稱 精密輪磨加工矽晶圓表面性狀研究:(樹脂砂輪)鑽石輪磨與電解線上削銳輪磨之比較分析