研發處: 研究計畫 (科技部)
標題 | 精密輪磨加工矽晶圓表面性狀研究:(樹脂砂輪)鑽石輪磨與電解線上削銳輪磨之比較分析 |
---|---|
學年 | 90 |
學期 | 1 |
計畫案開始日期 | 2001/08/01 |
計畫案結束日期 | 2002/07/31 |
計畫主持人姓名 | 趙崇禮 |
共同主持人姓名一 | 簡錫新 |
共同主持人姓名二 | 馬廣仁 |
共同主持人姓名三 | |
計畫中文名稱 | 精密輪磨加工矽晶圓表面性狀研究:(樹脂砂輪)鑽石輪磨與電解線上削銳輪磨之比較分析 |
標題 | 精密輪磨加工矽晶圓表面性狀研究:(樹脂砂輪)鑽石輪磨與電解線上削銳輪磨之比較分析 |
---|---|
學年 | 90 |
學期 | 1 |
計畫案開始日期 | 2001/08/01 |
計畫案結束日期 | 2002/07/31 |
計畫主持人姓名 | 趙崇禮 |
共同主持人姓名一 | 簡錫新 |
共同主持人姓名二 | 馬廣仁 |
共同主持人姓名三 | |
計畫中文名稱 | 精密輪磨加工矽晶圓表面性狀研究:(樹脂砂輪)鑽石輪磨與電解線上削銳輪磨之比較分析 |