會議論文
| 學年 | 87 |
|---|---|
| 學期 | 2 |
| 發表日期 | 1999-06-01 |
| 作品名稱 | 二進位沈積法用標準互補全氧半導體結構層製造光柵與微鏡片 |
| 作品名稱（其他語言） | Binary deposition method using standard CMOS sturctural layers to fabricate optical gratings and microlenses , Optical engineering for sensing and nanotechnology |
| 著者 | 杜文謙 |
| 作品所屬單位 | 淡江大學機械與機電工程學系 |
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| 摘要 | |
| 關鍵字 | |
| 語言 | zh_TW |
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| 會議性質 | |
| 校內研討會地點 | |
| 研討會時間 | |
| 通訊作者 | |
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| 公開徵稿 | |
| 出版型式 | |
| 出處 | 光學工程感測與奈米技術 |
| 相關連結 |
機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/37845 ) |