會議論文
| 學年 | 87 |
|---|---|
| 學期 | 2 |
| 發表日期 | 1999-04-01 |
| 作品名稱 | Three x-ray mask-making methods applied for LIGA process |
| 作品名稱（其他語言） | |
| 著者 | Yang, Hsiharng; 康尚文; Kang, Shung-wen; Chou, Min-Chieh |
| 作品所屬單位 | 淡江大學機械與機電工程學系 |
| 出版者 | |
| 會議名稱 | |
| 會議地點 | |
| 摘要 | |
| 關鍵字 | |
| 語言 | en |
| 收錄於 | |
| 會議性質 | |
| 校內研討會地點 | |
| 研討會時間 | |
| 通訊作者 | |
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| 公開徵稿 | |
| 出版型式 | |
| 出處 | Proceedings of SPIE on photomask and x-ray mask technology VI. SPIE, v.3748, SPIE-the international society for optical engineering, pp.495-502 |
| 相關連結 |
機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/38193 ) |