研發處: 研究計畫 (非科技部)

標題 基板上薄膜輪磨及拋光特性研究
學年 89
學期 2
計畫案開始日期 2001/04/16
計畫案結束日期 2001/12/15
委託(補助)機構名稱 工業技術研究院
計畫主持人姓名 趙崇禮
共同主持人姓名一
共同主持人姓名二
共同主持人姓名三
計畫中文名稱 基板上薄膜輪磨及拋光特性研究