研發處: 研究計畫 (非國科會)

學年 89
學期 2
計畫案開始日期 2001-04-16
計畫案結束日期 2001-12-15
委託（補助）機構名稱 工業技術研究院
計畫主持人姓名 趙崇禮
共同主持人姓名一
共同主持人姓名二
共同主持人姓名三
計畫中文名稱 基板上薄膜輪磨及拋光特性研究