研發處: 研究計畫 (非科技部)

標題 電子束微影用超鏡面滾筒胚料製作
學年 96
學期 2
計畫案開始日期 2008/04/01
計畫案結束日期 2008/06/25
委託(補助)機構名稱 財團法人工業技術研究院
計畫主持人姓名 趙崇禮
共同主持人姓名一
共同主持人姓名二
共同主持人姓名三
計畫中文名稱 電子束微影用超鏡面滾筒胚料製作