研究報告

學年 86
學期 1
出版(發表)日期 1998-01-01
作品名稱 微型熱交換器的設計製造與測試
作品名稱(其他語言) Design, Manufacture and Test of Micro Heat Exchanger
著者 康尚文
單位 淡江大學機械與機電工程學系
描述 計畫編號:NSC87-2218-E032-004 研究期間:199708~199807 研究經費:445,000
委託單位 行政院國家科學委員會
摘要
關鍵字 熱交換器;微機電系統;表面微細加工;矽微加工;感測器;Heat exchanger;Micro electromechanical system;Surface micromachining;Silicon micromachining;Sensor;MEMS
語言
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