期刊論文
| 學年 | 94 |
|---|---|
| 學期 | 1 |
| 出版（發表）日期 | 2006-01-01 |
| 作品名稱 | Preparation of highly textured AlN films using Mo and Ti electrode for integrated AlN-based film bulk acoustic wave resonators |
| 作品名稱（其他語言） | |
| 著者 | 周正賢; Chou, Cheng-hsien; Lin, Yung-chen; Huang, Jin-hua; Tai, Nyan-hwa; 林諭男; Lin, I-nan |
| 單位 | 淡江大學物理學系 |
| 出版者 | Taylor & Francis |
| 著錄名稱、卷期、頁數 | Integrated Ferroelectrics 80, pp.407-413 |
| 摘要 | |
| 關鍵字 | |
| 語言 | en |
| ISSN | 1058-4587 |
| 期刊性質 | 國外 |
| 收錄於 | |
| 產學合作 | |
| 通訊作者 | |
| 審稿制度 | 否 |
| 國別 | USA |
| 公開徵稿 | |
| 出版型式 | ,電子版 |
| 相關連結 |
機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/27497 ) |