關鍵字查詢 | 類別:會議論文 | | 關鍵字:以MPECVD法製作三種不同大小尺寸的鑽石薄膜特性研究

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1 95/1 物理系 林諭男 教授 會議論文 發佈 以MPECVD法製作三種不同大小尺寸的鑽石薄膜特性研究 , [95-1] :以MPECVD法製作三種不同大小尺寸的鑽石薄膜特性研究會議論文以MPECVD法製作三種不同大小尺寸的鑽石薄膜特性研究陳皇欽; 林諭男; 鄭秀鳳淡江大學物理學系臺南市:成功大學2006年中國材料科學學會年會論文集,4頁中國材料科學學會本實驗利用微波電漿輔助化學氣相沈積法(MPECVD)成長3種不同尺寸(Grain size)的鑽石薄膜,並利用SEM來探討表面顆粒大小的差異,以Raman光譜來探討鑽石薄膜顆粒結晶大小的差異性,以解釋薄膜場發射特性的不同;分別製作約500-600nm、100-200nm和約30nm的鑽石薄膜,發現大小約500-600nm的鑽石薄膜顆粒結晶程度最好,但是以場發射的特性可以發現約30nm大小的鑽石薄膜有較好的電流密度,其次為100-200nm大小的鑽石薄膜,而擁有最好結晶性的500-600nm的鑽石薄膜卻是這三種薄膜裡場發射的電流密度最差的。tku_id: ; 000121220;Submitted by 桂英 陸 (deer@mail.tku.edu.tw) on 2014-06-24T02:00:26Z No. of bitstreams: 0;Made available in DSpace on 2014-06-24T02:00:27Z (GMT). No. of bitstreams: 0zh_TW國內20061124~20061125TWN2006年中國材料科學學會年會臺南市, 臺灣<links><record><name>機構典藏連結</name><url>http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/98248</url></record></links>
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