關鍵字查詢 | 類別:會議論文 | 關鍵字 | 關鍵字:矽晶圓

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序號 學年期 教師動態
1 89/1 機電系 趙崇禮 教授 會議論文 發佈 The Surface Morphology and Sub-surface Characteristics of ELID-Ground Single Crystal Silicon , [89-1] 關鍵字:單晶矽;電解製程中修銳技術;研磨;表面形態;矽晶圓;Single Crystal Silicon;Electrolytic Inprocess Dressing;Grinding;Surface Morphology;Silicon Wafer
2 88/1 機電系 楊龍杰 教授 會議論文 發佈 Micro Pressure Sensor with Sub-mm Size by the Silicon Bulk Micromachining , [88-1] 關鍵字:微壓力感測器;微加工;矽晶圓;壓電阻率;Micro Pressure Sensor;Micromaching;Silicon Wafer;Piezoresistivity
3 88/1 機電系 康尚文 教授 會議論文 發佈 Micro Pressure Sensor with Sub-mm Size by the Silicon Bulk Micromachining , [88-1] 關鍵字:微壓力感測器;微加工;矽晶圓;壓電阻率;Micro Pressure Sensor;Micromaching;Silicon Wafer;Piezoresistivity
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