關鍵字查詢 | 類別:研究報告 | | 關鍵字:基於CMOS-MENS之相位式探頭感測器在介尺度三維形貌量測研究

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1 97/1 機電系 吳乾埼 副教授 研究報告 發佈 基於CMOS-MENS之相位式探頭感測器在介尺度三維形貌量測研究 , [97-1] :基於CMOS-MENS之相位式探頭感測器在介尺度三維形貌量測研究研究報告基於CMOS-MENS之相位式探頭感測器在介尺度三維形貌量測研究CMOS-MEMS Based Phase-Sensitive Probing Sensor Applied in Meso-Scale 3D Topography吳乾埼淡江大學機械與機電工程學系計畫編號:NSC98-2218-E032-009;研究期間:200909~201007;研究經費:758,000行政院國家科學委員會tku_id: 000132994;Made available in DSpace on 2010-04-15T08:11:20Z (GMT). No. of bitstreams: 0<links><record><name>機構典藏連結</name><url>http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/47064</url></record></links>
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