關鍵字查詢 | 類別:研究報告 | | 關鍵字:(樹脂砂輪)鑽石輪磨與電解線上削銳輪磨之比較分析

[第一頁][上頁]1[次頁][最末頁]目前在第 1 頁 / 共有 01 筆查詢結果
序號 學年期 教師動態
1 89/1 機電系 趙崇禮 教授 研究報告 發佈 精密輪磨加工矽晶圓表面性狀研究:(樹脂砂輪)鑽石輪磨與電解線上削銳輪磨之比較分析 , [89-1] :精密輪磨加工矽晶圓表面性狀研究:(樹脂砂輪)鑽石輪磨與電解線上削銳輪磨之比較分析研究報告精密輪磨加工矽晶圓表面性狀研究:(樹脂砂輪)鑽石輪磨與電解線上削銳輪磨之比較分析AStudy of the Surface Morphology and Sub-surface Characteristics of Single Crystal Silicon Generated by ELID-Grinding and (Resin-Bonded) Diamond Grinding趙崇禮; 簡錫新; 馬廣仁淡江大學機械與機電工程學系輪磨;鑽石輪磨;晶圓表面;Grinding;Diamond grinding;Wafer surface計畫編號:NSC90-2212-E032-007;研究期間:200108~200207;研究經費:534,000行政院國家科學委員會Made available in DSpace on 2009-03-16T08:00:28Z (GMT). No. of bitstreams: 1<br>902212E032007.pdf: 10942465 bytes, checksum: fd990430b75a85510e3cf00db3ed7036 (MD5);Made available in DSpace on 2009-07-15T10:37:35Z (GMT). No. of bitstreams: 2 902212E032007.pdf.txt: 20152 bytes, checksum: 21c2302bdc17bc72dd1d7cba657d3b1f (MD5) 902212E032007.pdf: 10942465 bytes, checksum: fd990430b75a85510e3cf00db3ed7036 (MD5) Previous issue date: 2009-03-16T08:00:28Z;tku_id: 000114437<links><record><name>機構典藏連結</name><url>http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/7231</url></record></links>
[第一頁][上頁]1[次頁][最末頁]目前在第 1 頁 / 共有 01 筆查詢結果