關鍵字查詢 | 類別:期刊論文 | 作品名稱(其他語言) | 關鍵字:感應耦合電漿蝕刻InGaN/GaN材料移除機制研究

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序號 學年期 教師動態
1 94/2 機電系 趙崇禮 教授 期刊論文 發佈 Investigation of Material Removal Mechanisms Involved in ICP Etching of InGaN/GaN , [94-2] 作品名稱(其他語言):感應耦合電漿蝕刻InGaN/GaN材料移除機制研究
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