專利
| 學年 | 102 |
|---|---|
| 學期 | 2 |
| 專利開始日期 | 2014-03-01 |
| 專利結束日期 | 2014-03-01 |
| 作品名稱 | 繞射光學元件、繞射光學元件陣列，及其製作方法 |
| 作品名稱（其他語言） | DIFFRACTIVE OPTICAL ELEMENTS, DIFFRACTIVE OPTICAL ELEMENTS ARRAY AND MANUFACTURING METHOD THEREOF |
| 著者 | 趙崇禮; 馬廣仁; 周文成 |
| 單位 | 淡江大學機械與機電工程學系 |
| 著錄名稱、卷期、頁數 | |
| 描述 | 專利類型：發明
 專利國別：中華民國
 專利公開/公告號：201102682/I431334
 專利申請號：098123300
 國際分類號：G02B-005/18(2006.01) |
| 摘要 | 本發明提供一種繞射光學元件及繞射光學元件陣列的製作方法，以及經由上述方法所製作之繞射光學元件及元件陣列。繞射光學元件的製作方法，包括提供基材，基材具有第一硬度與第一厚度，並於基材上形成光阻層，光阻層具有均勻的第一高度，接著提供表面形成有繞射光學元件公圖案的模具，在公圖案的外部周圍形成有複數個支腳，之後以模具對光阻層進行壓印，藉此在光阻層的表面形成對應於該公圖案的母圖案，接著硬化光阻層然後移除模具，再蝕刻光阻層與基材，藉此形成繞射光學元件的公圖案於基材的上表面。 |
| 關鍵字 | |
| 語言 | zh_TW |
| 相關連結 |
機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/100524 ) |