期刊論文
| 學年 | 90 |
|---|---|
| 學期 | 1 |
| 出版（發表）日期 | 2001-08-15 |
| 作品名稱 | 平面研光加工分析與矽晶片CMP應用 |
| 作品名稱（其他語言） | |
| 著者 | 陳炤彰; Chen, Chao-chang A. |
| 單位 | 淡江大學機械與機電工程學系 |
| 出版者 | 中華民國磨粒加工學會 |
| 著錄名稱、卷期、頁數 | 磨粒會訊 24，頁10-33 |
| 摘要 | |
| 關鍵字 | |
| 語言 | zh_TW |
| ISSN | |
| 期刊性質 | |
| 收錄於 | |
| 產學合作 | |
| 通訊作者 | |
| 審稿制度 | |
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| 公開徵稿 | |
| 出版型式 | |
| 相關連結 |
機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/45762 ) |