期刊論文

標題 The SOI-like method of reducing the die size of bulk-micromachined sensors
學年 90
學期 1
出版(發表)日期 2002/01/01
作品名稱 The SOI-like method of reducing the die size of bulk-micromachined sensors
作品名稱(其他語言)
著者 楊龍杰; Yang, Lung-jieh; 康尚文; Kang, Shung-Wen
單位 淡江大學機械與機電工程學系
出版者 Scientific Publishing Division Myu
著錄名稱、卷期、頁數 Sensors and materials 14(1), pp.23-34
摘要
關鍵字
語言 英文
ISSN 0914-4935
期刊性質
收錄於
產學合作
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