期刊論文
| 學年 | 92 |
|---|---|
| 學期 | 2 |
| 出版（發表）日期 | 2004-06-01 |
| 作品名稱 | 聚對二甲苯(parylene)微機電製程簡介 |
| 作品名稱（其他語言） | |
| 著者 | 楊龍杰 ; 林韋至 ; 戴霆樘 ; 林宏樺 ; 黃恆凇 |
| 單位 | 淡江大學機械與機電工程學系 |
| 出版者 | 臺南市：中華民國微系統暨奈米科技協會 |
| 著錄名稱、卷期、頁數 | 微系統暨奈米科技協會會刊 11，頁26-42 |
| 摘要 | |
| 關鍵字 | 聚對二甲苯;微機電製程; Parylene |
| 語言 | zh_TW |
| ISSN | 1814-909X |
| 期刊性質 | 國內 |
| 收錄於 | |
| 產學合作 | |
| 通訊作者 | |
| 審稿制度 | |
| 國別 | TWN |
| 公開徵稿 | |
| 出版型式 | 紙本 |
| 相關連結 |
機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/65452 ) |