會議論文
| 學年 | 86 |
|---|---|
| 學期 | 1 |
| 發表日期 | 1997-11-10 |
| 作品名稱 | A new method to fabricate the blazed gratings by the anisotropic etching on the(110)silicon wafers |
| 作品名稱（其他語言） | |
| 著者 | 楊龍杰; Yang, Lung-jieh; Chang, P. Z.; Lee, C. K.; Teng, J. T. |
| 作品所屬單位 | 淡江大學機械與機電工程學系 |
| 出版者 | |
| 會議名稱 | |
| 會議地點 | |
| 摘要 | |
| 關鍵字 | |
| 語言 | en |
| 收錄於 | |
| 會議性質 | |
| 校內研討會地點 | |
| 研討會時間 | |
| 通訊作者 | |
| 國別 | |
| 公開徵稿 | |
| 出版型式 | |
| 出處 | Proceedings of SPIE(symposium of Far East and Pacific rim on smart materials and MEMS), v.3242~02, Adelaide, Australia, pp.46-51 |
| 相關連結 |
機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/38047 ) |