專利
| 學年 | 94 |
|---|---|
| 學期 | 2 |
| 專利開始日期 | 2006-07-21 |
| 專利結束日期 | 2006-07-21 |
| 作品名稱 | 壓阻式壓力感測器及其封裝方法 |
| 作品名稱（其他語言） | A piezo-resistive pressure sensor and its packaging method |
| 著者 | 楊龍杰 |
| 單位 | 淡江大學機械與機電工程學系 |
| 著錄名稱、卷期、頁數 | |
| 描述 | 專利申請號：094117852 國際分類號：H01L-031/0203 專利權期間：20060721~20250530 專利公開/公告號：I258868 專利國別：中華民國 專利類型：發明 |
| 摘要 | 本發明係有關於一種壓阻式壓力感測器(piezo-resistive pressure sensor)以及應用於壓阻式壓力感測器之新型晶片等級封裝方式(wafer level package)。本發明主要是利用高分子矽膠材料「聚二甲基矽氧烷」(polydimethylsiloxane, PDMS)，取代Pyrex #7740，作為壓力感測器壓力薄膜下方空腔結構(pressure cavity) 的密封材。本發明利用聚二甲基矽氧烷的成本低廉、製程快速與低溫製程之特性，具有降低壓力計製造成本、縮短封裝時間、提高感測器性能等優點。 |
| 關鍵字 | |
| 語言 | zh_TW |
| 相關連結 |
機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/53854 ) |