研究報告

學年 87
學期 1
出版(發表)日期 1999-01-01
作品名稱 圓弧碎形加工路徑應用於研光機之研究
作品名稱(其他語言) Research of Arc-Fractal Tool Path on Lapping Machines
著者 劉偉均; 陳炤彰
單位 淡江大學機械與機電工程學系
描述 計畫編號:NSC88-2212-E032-003 研究期間:199808~199907 研究經費:371,000
委託單位 行政院國家科學委員會
摘要
關鍵字 研磨機;圓弧碎形加工路徑;磨粒加工;晶圓;電腦數值控制;Lapping machine;Arc fractal tool path;Abrasive machining;Wafer;Computer numerical control (CNC)
語言
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機構典藏連結 ( http://tkuir.lib.tku.edu.tw:8080/dspace/handle/987654321/7392 )

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